抽真空热压机

　　抽真空热压机由炉体，真空系统，压力系统及电气控制系统组成,设备箱体采用全不锈钢制造;电气元件采用国内外知名品牌，PLC控制,操作简单,响应速度快，自动降温系统，采用水冷降温，降温速率愉.压力自动可调，针对不同的材料选用不同的压力控制

　　一:抽真空热压机特点

　　1)上下压板温度独立设置，温度稳定，既保证热板快速上升又节约了电能。

　　2)采用自动补压装置，保证了制品的质量稳定性。压力精确可调，针对不同的材料选用不同的压力控制;

　　3)操作台和加压设备一体化，操作方便，结构紧凑美观。

　　4)采用气动自动加压装置，方便试验进行，并可随意设置压力大小

　　5)加热面积大，涵盖常用大小芯片

　　6)自动降温系统，采用水冷降温，降温速率均一，有利用获得较好的真空执压效果

　　7)采用独特的真空热压系统，在保证芯片不损坏的情况下大幅度提高键合成功率

　　二:热压机设备操作指南

　　2、设置给定值：

　　6.将上下板控制温控的两个开关：白色灯亮，表明开始加热，红色“升温指示灯”常亮表明表面工作台正在持续升温;闪烁表明进入恒温状态，此时表面工作台为间断性升温。温度恒定后开始对芯片进行加热键合。
　　7.热压键合结束，关闭上 下板加热开关，使加热棒处于停止工作状态。
　　8.关闭真空泵开关，然后打开进气球阀，去除舱体里的真空。
　　9.打开水冷开关开始进入水冷模式，等到温度传感器上温度降到常温为止。
　　10.注意：当上下板加热开关在开启的同时，手不可在两热板之间，以免压伤到手。 在舱门开启取压合芯片之前，务必冷却两个加热板，(关闭升温开关)以免烫伤到手。
　　11.如使用有机溶剂进行辅助键合时，切记远离裸露电线及明火，以免发生危险。

　　真空热压机安装

 

　　操作注意事项

　　(1)启动气缸开关时，避免因为误操作而压伤手指，造成事故。

　　(2) 在取压合芯片之前，确保两个加热板已经冷却至常温，以免烫伤。

　　(3) 如使用有机溶剂进行辅助键合时，切记远离裸露电线及明火，以免发生危险。

　　(4) 在运行过程中若突然出现故障，需要检查气缸或电子元器件时，一定要关闭电源，拨掉电源插头，停止进气，压力数显表显示为零，真空表为零后才能进行检修，否则有危险!!!

　　(5) 抽真空后，必须先关闭真空抽气口的阀门，再关闭真空泵，以保证真空泵里面的真空油不会倒吸至热压机内，损伤产品。